電子特氣的“特”，就特在純凈度要求非常高，純度指的是主成分的含量越高越好

，潔凈度指的是雜質的殘留量越低越好。對于90納米制程純度要求在5到6個N，

這里N指的是純度百分比中9的個數。同時雜質要求小于10的負9次方，也就是十

億分之一。28納米甚至7納米、5納米制程對電子特氣的純度要求就更高了，金屬

元素要凈化到萬億分之一，相當于20個標準游泳池的水里雜質的量不能超過一滴

水的量。為什么要如此苛刻的純度呢？這是因為極微量的雜質都有可能導致產品

出現重大缺陷，比如水分、氧氣等雜質會導致氧化金屬和顆粒物，會導致短路以

及線路的損壞。從28納米到7納米，產品的金屬雜質必須下降100倍，污染粒子的

體積必須縮小到4倍以下。隨著工藝制程發展到10納米以下，生產過程對于雜質過

濾、潔凈度的要求也會越來越嚴格。

這么苛刻的要求導致電子特氣生產技術的門檻非常高，需要長期的積累和研發投入

。同時生產過程要用到大量精密儀器設備，這是第一道難關。第二道難關是資質壁

壘，電子特氣品質對電氣產品性能影響大，一旦質量出現問題下游客戶將損失巨大。

為保持氣體供應的穩定，客戶在與氣體供應商建立合作關系以后，不會輕易地更換

氣體供應商，如果想進入就必須經過嚴格的審查和認證，這個周期一般要長達2到3

年。由于發達國家電子信息產業的起步早，在技術、資金、人才等方面有先發優勢，

我國不得不長期依賴進口，85%以上的市場份額被美、法、德、日等國的企業所壟

斷，特別是超高純特氣更是幾乎全部依賴進口，賣不賣、賣多少全憑他們說了算。

所以，我國必須盡快開發出關鍵電子特氣的國產化技術化解“卡脖子”的風險，把國

民經濟的安全命脈牢牢地掌握在自己手中。從技術層面而言，我國電子氣體行業需

要在以下幾個方面加以突破：一是凈化材料，氣體終端凈化器的核心材料，如凈化

用的催化劑、吸附劑和膜材料等；二是新產品、新技術，電子特氣更新換代快，新

產品的研發、混配技術跟不上國外的研發速度，國內的三氟化氮和六氟化硫等電子

特氣產品，目前國際上已逐漸淘汰；三是設備方面，與高純氣體接觸的器材必須滿

足潔凈的標準，否則釋放出來的微量雜質就會污染電子氣體，生產用的容器、管道

閥門等目前還需要大量進口，亟需我們盡快研發；四是檢測技術方面，分析檢測是

品質保證的關鍵，部分純度指標檢測技術有一定的基礎，但是在超痕量雜質高精度

分析檢測技術以及一些專用的儀器方面與國外差距巨大。近年來，我國一些企業經

過多年的自主研發，部分電子特氣產品已經實現量產，并且通過了國際龍頭企業的

認證，今后將會有更多的產品陸續進入全球半導體的供應鏈體系。