電子特氣的重要作用解密

什么是電子特氣？

電子特殊氣體是電子氣體的重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業生產中不可缺少

的原材料。電子特殊氣體種類繁多，廣泛應用于離子注射、腐蝕、氣相沉積、混合等環節。

它被稱為集成電路、液晶面板、LED和光伏材料的“食物”和“來源”，決定了設備的最終產量

和可靠性。電子特殊氣體廣泛應用于半導體、微電子及相關太陽能電池等高科技產業，或

用于薄膜沉積、腐蝕、混合、鈍化、清潔，或用于載氣、保護氣氛等。由于半導體和微電

子技術的發展，對電子特殊氣體的純度提出了越來越高的要求，電子特殊氣體的凈化變得

越來越關鍵和重要。

電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)和鹵素(氟、氯)的基礎

化工行業在集成電路、面板、LED等領域的各個工藝環節都有多種用途。電子特氣是集成

電路、顯示面板等電子工業生產中不可缺少的原材料。2021年，電子特氣在集成電路中的

應用占43%，其次是顯示面板，占21%，LED和光伏分別占13%和6%。主要應用環節包括

離子注射、腐蝕、氣相沉積、摻雜等。

常見的電子特氣有哪些？

C4F6純度高、 SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O

、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。

為保證半導體設備的質量和成品率，特種氣體產品應滿足“超純”和“超純”的要求，“超純”要

求氣體純度達到 4.5N、5N 甚至 6N、7N作為特種氣體的核心參數，每次純度增加一個N，

粒子和金屬雜質的濃度降低一個數量級，工藝復雜性和難度都會顯著提高。（N 是 Nine 簡

寫，幾個N 有幾個代表 9，例如3N 純度為99.9%)，“超凈”要求嚴格控制粒子和金屬雜質的

含量。目前國內企業普遍實現5-6n，而林德、法液空等海外龍頭企業技術可達6-9n。

市場如何？

2016年，中國特種氣體市場規模為156億元，2020年達到282億元。2016年至2020年，中

國特種氣體市場平均增速達到15%以上，增速明顯。有機構預測，2020年以后仍將保持15%

以上的高速增長趨勢，2025年中國特種氣體市場預計將達到691億元。同時，國內電子特種

氣體行業技術研發穩步推進，有望實現進口替代。2020年，全球電子氣體市場規模為58.5億

美元，預計2025年將超過80億美元，年復合增速將達到6.5%。未來國內電子特種氣體市場

將有很大的增長空間。