六氟化硫氣體化學性質穩定，微溶于水、醇及醚，可溶于氫氧化鉀，不與氫氧化鈉、液氨、鹽酸及水起化學的反應。300℃以下干燥環境中與銅、銀、鐵、鋁不反應。500℃以下對石英不起作用。250℃時與金屬鈉反應，-64℃時在液氨中反應。與硫化氫混合加熱則分解。200℃時，在特定的金屬如鋼及硅鋼存在下，能促使其緩慢分解。

六氟化硫耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，在電力工業中應用廣泛，如斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。采礦工業用作為反吸附劑，用于礦井煤塵中置換氧。高純六氟化硫還因其化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性，還被廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔化爐保護氣體）、航空航天、醫療（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（高級汽車輪胎、新型滅火器）等。隨著當今科技的發展，六氟化硫涉及的領域不斷擴展，被越來越多的基礎領域和科技領域廣泛應用。

但是，六氟化硫具有一定危險性。六氟化硫純品,毒性較低、性狀穩定，但人在吸入80%六氟化硫+20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后，人體會出現四肢麻木，輕度興奮癥狀。六氟化硫氣體充入高壓開關柜內有一定的壓力，因此，氣體泄漏的概率較高，而空氣中的氧氣含量充足，這樣使得六氟化硫泄漏后與氧氣結合產生毒性的條件充分。這是需要防護的情況之一。除此之外，一旦六氟化硫氣體遇到高熱、高溫，如電弧，會產生出副產物—氧化硫和氟化氫氣體，它們與未分解的六氟化硫氣體共存。此時就有三種毒氣存在。