盡管六氟化硫氣體在室溫下是一種穩定的材料性質，但在SF6氣體電弧運動的溫度下，其氟化程度更高。電弧、火花和電暈放電導致產生復雜的SF6分解氣體和有毒氣體，主要是SF4、SOF2、SO2F2、sof4、SO2、CO2、H2S、HF等。，和CF4。這些分解產物大多對環境有害。處理六氟化硫的分解非常重要！

不久前，廣西電力科學研究院完成了廣西第一個六氟化硫固體降解分析研究方法試驗室的建設，廣西電網六氟化硫工程機械電氣控制技術的信息科學與故障診斷數據技術進入了一個新階段。據介紹，六氟化硫固體分解實驗室是中科院經濟發展六氟化硫重點實驗室資源管理體系建設的重要組成部分。它主要包括電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）和相關知識理論基礎，通過將ICP的高溫電離（7000K）特性與四級棒質譜儀的靈敏和快速掃描優勢相結合，支持操作生產設備的質量和安全，該系統可以根據市場分析的教育目標，同時檢測六氟化硫固體分解的基本成分，實現對六氟化硫電氣自動化設備有限公司發生財務內網故障現象的現場的快速診斷。

SF6電器內部故障是一個復雜的物理和化學過程。分解氣體種類繁多，含量低，穩定性差，其類型和含量不僅與故障能量直接相關，還與故障部位和材料類型、氣體水分、雜質、故障后吸附時間等密切相關。除分析檢測六氟化硫固體分解產物外，還應綜合分析設備故障，GIS局部放電支持在線檢測，結合超聲波定位等技術手段，采用氦離子氣相色譜等新技術，全面準確地分析SF6氣體分解產物，提高故障診斷的準確性

當固態SF6分解時，差異在于檢測裝置的適當部分用于分析誤差，這也應該是一種良好的測量方法。六氟化硫氣體用作絕緣和滅弧設備，其六氟化硫氣體和分解產物必須在以下四種條件下回收或處理。

（1） 當開發新產品并完成技術測試時，絕緣破裂樣品；

（2） 電氣設備檢修；

（3） 處理電氣設備故障；

（4） 拆除并更換丟失的電氣設備。