準分子激光氣體種類解析  

用于準分子激光的氣體類型主要包括稀有氣體鹵化物和氧化物。

在刺激狀態下，準分子激光器通常使用稀有氣體鹵化物作為工作

物質產生激光。常見的準分子激光氣體包括：

氪氟（KrF）：發射波長為248 nm，常用于半導體光刻。
氬氟（ArF）：發射波長為193 nm，廣泛應用于半導體光刻和眼

科屈光度校正手術。
氙氯（XeCl）：發射波長為308 nm，面板顯示制造主要采用低溫

多晶硅退火。
這些氣體通過高壓放電激勵在準分子激光器中產生高能紫外激光。

它們具有波長、能量大、脈搏寬度窄的特點，適用于高精度加工

和醫療應用。

1.準分子激光器的參數
1. 波長：準分子激光波長范圍廣，常用波長為193nmm。、248nm、

308nm、350nm、351nm等。

2. 輸出功率：準分子激光器的輸出功率一般為mw級，常用輸出功

率為5mw。、10mW、20mW、50mW等。

3. 脈寬：準分子激光器的脈寬一般為10納秒量級，常用脈寬為8ns、

10ns、20ns等。

4. 重復頻率：準分子激光器的重復頻率一般在1-100Hz之間，常用

的重復頻率為10Hz。、20Hz、50Hz等。

5. 穩定性：準分子激光器的穩定性主要包括波長穩定性、功率穩定

性和重復穩定性。激光輸出信號穩定性越好，激光參數精度要求越

高。

2、不同參數對激光性能的影響
不同參數對分子激光性能的影響如下：

1. 波長：波長是準分子激光的重要參數之一。193nm激光適用于半

導體加工等高精度工藝場合。308nm激光適用于皮膚病患者的治療。

不同的波長激光用于不同的材料加工和醫療美容。

2. 輸出功率：輸出功率越高，能量密度越高，穿透力越強。適用于

深層組織的切割和燒蝕。但與此同時，高功率激光也會對組織造成

熱損傷，因此在醫療美容領域應謹慎使用。

3. 脈沖寬度：脈沖寬度越短，脈沖強度越大，光能越容易穿透樣品，

總能量越小。因此，短脈沖激光通常適用于高速加工。

4. 重復頻率：重復頻率越高，輸出能量越大，但長期連續使用會加

劇光學元件和激光介質的磨損。同時，過高的重復頻率也會增加激

光的內部溫度，降低激光的穩定性。

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