如果
六氟化硫氣體的純度低了，其絕緣強度會大幅度下降，使用在電器絕緣時容易被高電壓擊穿造成事故。那么是什么原因導致氣體純度不純了呢?
(1)大家知道，目前化工行業制造
六氟化硫氣體的方法主要是采用單質硫磺與過量氣態氟直接化合反應而成。在合成的粗品中含有多種雜質，其雜質的組成和含量因原材料的純度，生產設備的材質和工藝條件等因素的影響而有很大差異，雜質總含量可達5%。
另外， 在氣體的充裝過程中還可能混入少量的空氣、水分、和礦物油等雜質，這些雜質均帶有或會產生一定的毒性物質。
(2)電器設備內的SF6氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。
(3)電器設備內的
六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。
(4)電器設備內的 SF6氣體及分解物與電極(Cu-W 合金)及金屬材料(AL、Cu)反應而生成某些有毒產物。
(5)電器設備內的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件，或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等產物。
以上這些高純六氟化硫高溫分解的產物都會導致氣體純度不純的問題。此外設備中的氣體也要時常檢測更換以免損害設備。
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