現在科學技術的發展和技術的提高，關于一些先進技術的制造材料也被稱為越來越多，

在像芯片制造行業，需要一些更先進的材料，比如高純度的硅烷，高純一氧化二氮、

氨氣、氖氣等電子特種氣體是作為半導體電子行業應用的一種特種氣體，歷來被譽為

電子行業的“血液”，廣泛應用于各類半導體制造過程。

電子特種氣體對氣體質量要求非常高，我國大部分仍依賴進口。目前，我國部分產品

已取得突破，如高純硅烷、高純氨、高純亞硝酸鹽、高純CL2、高純氬、高純鍺烷等。

但國內電子行業存在一些難以突破的技術壁壘。

首先，深度凈化技術難度大。以硅烷為例，純度從4N提純到6N還有很長的路要走。

除解決常見氣態雜質的凈化問題外，金屬元素應凈化至10-9至10-12級別。二是包裝

儲運跟不上。超高純氣體的生產和應用需要采用高質量的氣體包裝儲運容器以及相

應的氣體輸送管道、閥門和接口，以避免二次污染的發生。三是分析測試理念落后。

電子氣體生產和應用領域的分析檢測技術的研究和開發在國內還沒有引起足夠的重視。

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