近年來，《中國制造2025》、《“十三五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》、《關(guān)于集成電路生產(chǎn)企業(yè)有關(guān)企業(yè)所得稅政策問題的通知》等政策扶持，我國超大規(guī)模集成電路、LCD器件、非晶硅薄膜太陽能電池等產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。與此同時(shí)，隨著這些行業(yè)的快速發(fā)展，含氟特殊電子氣體也有了很大的增長。

常見的含氟特殊電子氣體有六氟化硫（sf6）、六氟化鎢（WF6）、四氟化物（CF4）、三氟甲烷（CHF3）、三氟化氮（NF3）、六氟乙烷（C2F6）和八氟丙烷（C3F8）。

三氟化氮（NF3）是一種含氟特殊氣體，是市場容量最大的電子特殊氣體產(chǎn)品。它在室溫下具有化學(xué)惰性，在高溫下比氧和氟更為活躍和穩(wěn)定，并且易于操作。

三氟化氮主要用作等離子體蝕刻氣體和反應(yīng)室清潔劑，適用于半導(dǎo)體芯片、平板屏幕、玻璃纖維、光伏電池等制造領(lǐng)域。

與其他含氟電子氣體相比，三氟化氮具有反應(yīng)速度快、效率高等優(yōu)點(diǎn)。特別是在蝕刻氮化硅等含硅材料時(shí)，具有較高的蝕刻速度和選擇性。它不會(huì)在蝕刻對象的表面留下任何殘留物。它也是一種很好的清潔劑，不會(huì)污染表面，可以滿足加工工藝的要求。

氟化氮的主要生產(chǎn)工藝包括化學(xué)工藝和熔鹽電解工藝。其中，化學(xué)合成法是安全的，但存在設(shè)備復(fù)雜、雜質(zhì)含量高的缺點(diǎn)；電解更容易得到高純度的產(chǎn)品，但也有一些浪費(fèi)和污染。

目前，生產(chǎn)高純度三氟化氮的日本和國內(nèi)制造商大多采用NH4H氟化物氣熔鹽電解工藝，而歐美國家一般采用直接法。

隨著半導(dǎo)體和顯示屏行業(yè)的生產(chǎn)和消費(fèi)重心逐漸轉(zhuǎn)移到中國大陸，主要原材料均來自國內(nèi)，兩端的產(chǎn)業(yè)鏈格局決定了三氟化氮的生產(chǎn)和應(yīng)用將轉(zhuǎn)移到國內(nèi)市場。

中國的半導(dǎo)體和平板工業(yè)保持高度繁榮。三氟化氮作為一種特殊的電子氣體，在板材和半導(dǎo)體的制造和加工中不可或缺，具有廣闊的市場空間。

根據(jù)數(shù)據(jù)，2019年世界和中國對三氟化氮的需求將分別增加3.1萬噸。11000噸，同比分別增長10%。40%。從市場競爭格局來看，三氟化氮制造商和銷售商長期集中在美國、韓國、日本等國外天然氣公司。其優(yōu)點(diǎn)是生產(chǎn)能力大，品種齊全，缺點(diǎn)是原料在中國采購，生產(chǎn)成本和運(yùn)輸成本相對較高。

由于NF3氣體生產(chǎn)的大部分主要原材料均為國內(nèi)供應(yīng)，半導(dǎo)體行業(yè)的生產(chǎn)和消費(fèi)中心轉(zhuǎn)移至中國大陸，未來NF3生產(chǎn)的趨勢將決定于中國大陸。隨著內(nèi)部市場需求和國產(chǎn)化率的增加，領(lǐng)先公司的市場份額預(yù)計(jì)將繼續(xù)提高。