1.氣相色譜法
氣相色譜法適用于氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、
氦氣、一氧化碳、二氧化碳等無機氣體，甲烷、乙烷、丙烯及C3以上的絕大部分有機氣體的分析。氣相色譜儀主要由氣路系統、進樣系統、柱恒溫箱、色譜柱、檢測器和數據處理系統等組成。 用氣相色譜法分析
標準氣體，要想獲得準確可靠的分析結果，首先必須建立分析方法，選擇合適的操作條件和操作技術。
2.微量氧分析儀
微量氧分析儀：在高純氣體的分析中，幾乎所有的高純氣體中都要求準確測定其中微量氧的含量。由于大氣中含有大量的（21%）氧，準確測定高純氣體中微量氧乃至痕量氧，是氣體分析中的難點之一。
3.化學發光法
化學發光法是利用某些化學反應所產生的發光現象對組分進行分析的方法，具有靈敏度高，選擇性好，使用簡單方法、快速等特點。適用硫化物、氮氧化物、氨等標準氣體的分析。
4.微量水分析儀
微量水分也是評價高純氣體質量的主要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質量。
5.非色散紅外分析法
非色散紅外氣體分析器是利用不同的氣室和檢測器測量混合氣體中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等組分的含量。非色散紅外氣體分析器主要由紅外光源、試樣室、濾波器、斬波器、檢測器、放大器及數據顯示裝置組成。
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