通常，高純度六氟化硫是無色、無味、無臭、無毒的不可燃氣體，分子量為146.06，密度為6.139g/l，約為空氣的五倍。它是已知的具有良好化學穩定性的物質之一，其慣性類似于氮。它具有優異的熱穩定性，在純狀態下即使超過500℃也不會分解。

高純度六氟化硫具有電絕緣和滅弧特性。在相同條件下，其絕緣容量是空氣和氮氣的2.5倍以上，滅弧容量是空氣的100倍。六氟化硫的熔點為六氟化硫大小，在45-0℃的溫度范圍內可作為特殊制冷劑。由于其良好的耐熱性，它是一種穩定的高溫熱載體。由于上述和其他優異的性能，六氟化硫近年來已用于能源、電子、電氣工業、激光、醫療、氣象、寒冷、消防、化工、軍事、航空航天、有色金屬冶金、物理研究等領域。已被廣泛使用。

六氟化硫具有良好的絕緣性能和滅弧性能，如斷路器、高壓變壓器、氣體封閉組合電容器、高壓輸電線路、變壓器等。電子高純度六氟化硫是微電子技術領域廣泛應用的理想電子蝕刻劑。作為制冷劑，制冷行業的制冷范圍可以在-45℃到0℃之間。電氣行業使用其高介電強度和良好的滅弧性能作為高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。

采礦業使用六氟化鈣硫作為反向吸附劑，以取代煤塵中的氧氣。高純度SF6由于其化學惰性、無毒、不易燃、無腐蝕性，也廣泛應用于金屬冶煉（如鎂合金熔煉爐屏氣）、航空航天、醫藥（X光機、激光機）、氣象（示蹤分析）、化工（汽車輪胎、新型滅火器）等領域。隨著科學技術的發展，SF6在越來越多的基礎領域和科技領域得到了廣泛的應用。