六氟化硫氣體因其電氣強度高、熱穩定性好，被廣泛應用于高壓電氣設備中。六氟化硫氣體的化學性質非常穩定。純六氟化硫氣體并非無毒，但對于大電流、強電弧放電產生的含硫低氟化物。這些材料反應性強，與電極材料發生反應，有水和氧氣時受潮，使其分解成有毒或有毒氣體。這些有毒氣體主要損害人體的呼吸系統。中毒后，會出現感冒、皮膚過敏、惡心和疲勞等不良反應。吸入后會出現更嚴重的后果。因此，在對六氟化硫設備進行檢查、修理和試驗時，應采取以下防護措施:


(1)工作現場應通風良好，檢修人員應處于逆風位置;


(2)經常佩戴防毒面具和防護手套;


(3)排放的氣體不得回收或者經管道排入排水溝直接排入大氣;


(4)休息前或工作后，用肥皂和大量的水洗臉、頸部、手臂和手。


(5)如果接觸到大量氣體，應立即清洗，換衣服，并到醫院觀察治療情況。