六氟化硫氣體的質量應按照國家標準的規定進行驗證。測試項目包括空氣（N2、O2）、四氟化碳（CF4）、六氟化硫（SF6）、SF6微水測試（H2O）、酸度（HF）、可水解氟化物（HF），礦物油和毒性生物測試。試驗結果應符合GB/T12222的規定。

（1） 當六氟化硫氣體中的濕度相對較高時，當設備中發生電弧時，氣體的電弧分解產物會產生許多有毒物質，如SOF2、HF等。，這會腐蝕斷路器的內部結構材料并威脅維護人員的人身安全。此外，當濕度高時。隨著溫度的變化，絕緣部件表面會產生冷凝，導致表面翻轉。它降低了絕緣強度，并威脅到設備的安全運行。

（2） 空氣、四氟和礦物油等雜質會降低絕緣和滅弧性能。在高電流、高電壓和高溫等外部因素的影響下，電氣設備在氧氣和水的存在下產生有毒或高毒性的低氟氧氣。這些污染物對人體造成極大危害，并腐蝕設備的金屬部件和絕緣材料。

（3） 酸度在某種程度上代表或象征六氟化硫氣體的毒性，特別是如果酸性組分和水同時存在，可能會發生冷凝，這將嚴重危及電氣設備的安全運行。

（4） 含有高純度六氟化硫的硫和低氟雜質，其中一些容易水解形成酸性或有毒物質，損害人體健康和設備的操作安全。