六氟化硫氣體泄漏檢測分為定量檢測和定性檢測。定量檢驗是通過包扎檢測、掛瓶法或壓力換算找出泄漏量，從而得出年泄漏率。定性檢驗是直接檢測設備各接頭密封點的鋁鑄件，可查出設備各泄漏點的位置。

定量檢漏通常采用扣蓋法、掛瓶法、局部包扎法、壓降法等方法。扣蓋法適用于高壓斷路器和適合蓋蓋場合的小型設備。掛瓶方式適用于法蘭面上有雙密封槽的場合。部分包裹法一般用于組裝單元和大型產品。壓降法適用于設備艙泄漏量較大或運行過程中確定泄漏率。通常，在六氟化硫設備的交接驗收試驗中，檢漏工作采用局部包裹法和卡扣法進行檢漏。