高靈敏度氦質譜檢漏儀的噪聲源一般可分為兩種：一種是來自離子電流接收放大器輸出電路的噪聲，另一種是背景噪聲。 事實上，通過改進電子電路，儀器中離子電流接收增益和輸出電路引起的噪聲已經降低到非常低的水平，從而不再是限制設備靈敏度的主要因素。如果在特殊情況下，它仍然是限制靈敏度的主要因素，則可以通過放大信號以提高信噪比來提高靈敏度。 背景噪聲是由背景尖端的不穩定性引起的，這與背景的大小和電磁場參數的穩定性有關，包括： 1.離子源發射的電子流不穩定，加速電壓不穩定，分析儀電磁參數不穩定；2.氦氣在真空系統中的吸收和再釋放（如真空油脂、人造橡膠和有機絕緣材料可以吸收和釋放氦氣），電離真空計，特別是磁放電真空計對氦氣的儲存作用（污染時更嚴重）；3.氦氣在泵系統中的防擴散和氦氣泵速度的不穩定性；4.氦質譜儀泄漏檢測器本身泄漏以及氦氣的滲透；5.氦離子被殘余氣體分子散射等。這些因素對背景噪聲和靈敏度有顯著影響。