目前，生產國產氙氣的只有武鋼、邯鋼、杭氧、首鋼等少數幾家大型鋼廠旗下的氣體企業，具備制備能力。這些氙氣，氖氣等稀有氣體含量稀少，只有制氧機生產規模足夠大，才有可能提取得到。

  國產氙氣廠商通過空分，利用空氣中各組分物理性質不同，采用深度冷凍、吸附、膜分離等方法從空氣中分離出氧氣、氮氣，或同時提取氦氣、氬氣、氙氣、氖氣等稀有氣體。武鋼氙氣占國內生產市場份額的百分之七十。

  空氣分離設備就是將空氣液化、精餾、最終分離成為氧、氮和其他有用氣體的氣體分離設備，簡稱空分設備。它的最低工作溫度為77K。直至19世紀末空氣仍被稱為“永久氣體”，后來人們發現在深低溫下空氣也能液化，并因氧、氮沸點不同，可以從液化空氣中分離出氧氣和氮氣。

  第一臺商品化的制氧機于1903年制成，它最初只是用于金屬的氣焊和切割。30年代末，氮肥工業需要氮氣，制氧機發展到能同時生產氧氣和氮氣，改稱空氣分離設備。

  目前我國生產的空分設備的形式、種類繁多。有生產氣態氧、氮的裝置，也有生產液態氧、氮的裝置。但就基本流程而言，主要有四種，即高壓、中壓、高低壓和全低壓流程。

  我國空分設備的生產規模已經從早期只能生產20m3/h（氧）的制氧機。發展到現在具有生產20000 m3/h、30000 m3/h、50000 m3/h和60000m3/h的大型空分設備的能力，以及已經完成科研階段，即將進行制造80000m3/h特大型空分設備的能力。生產國產氖氣，國產氙氣的廠家都裝備有特大型空分設備。

  空氣分離最常用的方法是深度冷凍法。此方法可制得氧、氮與稀有氣體,所得氣體產品的純度可達98.0%～99.9%。此外,還采用分子篩吸附法分離空氣(見變壓吸附),后者用于制取含氧70%～80%的富氧空氣。

  近年來，有些國家還開發了固體膜分離空氣的技術。氧氣、氮氣及氬氣、氦氣等稀有氣體用途很廣，所以空氣分離裝置廣泛用于冶金、化工、石油、機械、采礦、食品、軍事等工業部門。

  為了使空氣液化，可采用不同的深度冷凍循環裝置，主要以林德循環和克勞德循環為基礎。前者是通過節流膨脹制冷;后者除仍有節流膨脹外,還有一部分氣體在膨脹機中作等熵膨脹。

  氣體進行等熵膨脹時，溫度的降低要比節流膨脹大,而且能回收一部分壓縮功,所以比節流膨脹經濟。其他各種改進的深度冷凍循環，有雙壓節流循環、帶氨預冷節流循環、逐級重疊循環等。

  在深度冷凍法的各種循環中，典型的流程是先使空氣在過濾器中濾去塵埃等雜質進入壓縮機，再經分子篩凈化器除去空氣中在低溫下易凝固氣體，如水蒸氣和二氧化碳等，已凈化的空氣在第一換熱器中由產品氮氣和氧氣降溫。

  出第一換熱器后，空氣分成兩路：一路經第二換熱器繼續冷卻后，再經節流閥降壓；另一路經膨脹機降壓。兩路膨脹后的空氣溫度均降至103K左右，進入雙級精餾塔的下塔底部。

  在深度冷凍法中，主要的分離過程是在雙級精餾塔中進行的。進入下塔底部的空氣在該處的溫度和壓力條件下,已部分液化。由于液氮沸點比液氧沸點低,因而下塔底部的液化氣體是富氧液態空氣，含氧量一般為30%～40%。下塔操作壓力應高于上塔才能使下塔頂部氮的冷凝溫度高于上塔底部液態氧的沸騰溫度。從而使冷凝蒸發器內熱量由管內傳向管間，并具有一定的傳熱溫差。

  冷凝蒸發器同時起到了下塔塔頂冷凝和上塔塔底加熱的作用。空氣在下塔由下而上經過多層塔板精餾，使易揮發組分氮的濃度逐漸提高，并在冷凝蒸發器管內冷凝成液氮。一部分液氮在下塔作回流液；一部分收集于液氮槽，經減壓后作為上塔塔頂回流液。下塔底部的富氧液態空氣,經節流閥進入上塔中部,與冷凝蒸發器蒸發出來的氣體逆流接觸。

  由此使下流液體中的含氧量由上至下不斷增加,最后積聚在冷凝蒸發器管間,含氧量可達99%以上，并不斷在此蒸發出產品氧而引出塔外。上塔塔頂引出的則是產品氮，濃度亦可達98%以上。出精餾塔的產品氧和產品氮的溫度都很低，可通過換熱器使輸入空氣降溫。

  由于氬的沸點介于氮、氧沸點之間，利用雙級精餾塔還不能同時得到純氮和純氧。若在上塔中部適當部位抽出富氬氣體作為提氬原料，則產品氮、氧的濃度可提高。

  沸點較低的氖氣和氦氣積聚在液氮上面，可抽出作為提氖、氦的原料。沸點比較高的氪氣、氙氣則積累在上塔底部液態氧和氣體氧中，可抽出作為提氪氣、氙氣的原料。

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