在硅烷的燃燒過程中，混入氮氣可以帶來許多優點。首先，加氮能夠顯著提高產物的純度，降低雜

質含量，從而改善所得產物的性能和質量。這是因為氮氣的加入能夠有效地凈化反應體系，剔除其

中的雜質和不純物質，使得產物更加純凈、精細。其次，加氮還能夠顯著減少產生的有害氣體排放，

有效保護環境，減少空氣污染的程度。近年來，環保意識的提升使得對減少有害氣體的排放越來越

重視，而加氮的應用就成為了一個有力的手段。最后，加氮還能夠提高硅的產量。在硅烷燃燒過程

中，氮氣的引入能夠改變反應體系的動力學和熱力學條件，提高反應的效率和速度，從而使得硅的

產量顯著提高。這不僅可以降低生產成本，提高經濟效益，還能夠滿足不斷增長的硅需求。綜上所

述，對硅烷中加入氮氣的優點是顯而易見的，它能夠提高產物純度、減少排放物并且提高硅產量，

是一個非常值得應用的技術和方法。

在硅烷燃燒塔中，通常采用液氮或氣態氮進行供應。液氮供應方式主要是通過外部罐存儲氮氣，通

過管道輸送至硅烷燃燒塔；而氣態氮供應方式則是通過壓縮機將空氣壓縮成液態，再將液態空氣通

過分子篩脫除水和二氧化碳等雜質，最終獲得干燥的氮氣。