電子特氣是工業氣體中附加值較高的品種，與傳統工業氣體的區別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學反應)，是極大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產中不可或缺的基礎和支撐性材料之一，相關下游領域的快速發展將帶動未來特種氣體的增量需求。

行業壁壘和國內電子特氣現狀：電子特氣對氣源和供應系統有著苛刻的要求，屬于典型的技術密集型行業。技術工藝、設備資質、客戶認證、市場服務共同構成了電子特氣的四大行業壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術壁壘。目前IC用特氣，中國僅能生產約20%的品種，主要集中在IC的清洗、蝕刻、光刻等工藝環節，對摻雜、沉積等工藝的特種氣體僅有少部分品種取得突破。

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中國電子特氣行業趨勢：縱觀工業氣體百余年歷史，氣體純度提升、品類增多、氣體公司兼并收購貫穿其中。我們認為，國產特氣未來的五大趨勢分別為品類擴充、高端突破、專業分工明確、尾氣回收擴大、氣體企業整合提速。對于當前半導體上游供應鏈，國產替代已成為業界共識，當前電子氣體國產化率不足15%，基于自主可控的供應鏈安全，隨著下游Fab廠的加速認證，我們認為未來國產化率將顯著提高。

半導體用電子特種氣體潛力巨大

2020年-2022年是中國大陸晶圓廠投產高峰期，以長江存儲，長鑫存儲等新星晶圓廠和以中芯國際，華虹為代表的老牌晶圓廠正處于產能擴張期，未來3年將迎來密集投產。根據電子特氣的特性來推斷，新建晶圓廠將是電子特氣國產代替的主要發展企業。

國內新建晶圓廠的密集投產為電子特氣打開了最佳代替窗口。我國特種電子氣體的市場規模中有45%是屬于集成電路行業的，根據這一比例對集成電路行業用特種電子氣體的未來市場規模變動進行，到2025年，集成電路對特種電子氣體需求市場規模能達到134億元左右。

電子特殊氣體行業相關政策

特種氣體作為關鍵性材料，應用廣泛，特別是在集成電路、顯示面板、光伏能源和光纖光纜等新興領域發揮重要作用。近年來特氣行業得到國家政策的大力支持，國家發改委、科技部、工信部和財政部等多部門相繼出臺多部新興產業相關政策，均明確提及并部署了氣體產業的發展，并且對于特種氣體確立了其新材料產業屬性，有力推動了氣體產業的發展。