純度是氮氣的重要技術參數。根據國家標準，氮氣可分為工業氮氣、純氮氣和高純氮氣。其純度分別為99.5%（O2≤0.5%）、99.99%（O2≤1%）和99.999%（O2≤2.001%）。

純氮（N2）≥99.99；化工、冶金和電子行業中的高純氮（N2）≥99.999；科研、電子和機械工業的載氣和色譜儀

因此，如果將其用作制冷劑，則沒有區別。高純氮氣主要適用于本儀器

除純度≥99.999%的高純氮氣（進口量極高）外，國內外同行一般采用變壓吸附制氮技術生產99.9%的純氮氣（即O2），單個企業可生產99.99%的純氮（O2）≤0.01）。PSA制氮技術可以獲得更高的純度，但制造成本太高，用戶難以忍受。因此，非低溫制氮技術產生的高純度氮氣也添加到后清潔裝置中。