電子氣是半導體工業的重要原料

電子氣體簡介

特種電子氣（簡稱特種電子氣）是特種氣體的一個重要分支，是生產集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業不可或缺的原材料。

一般來說，半導體制造業中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導體制造中使用的一些化學氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類別中的電子氣體，如高純度SiH4、PH3、AsH3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl 3、BF3、HCl、Cl2等。這是用于集成電路生產，有大約30種常見類型的核心范圍。正是這些氣體使硅芯片通過各種工藝具有半導體特性，進而決定了集成電路的性能、集成度和成品率。即使某些污染物超過標準，也會導致嚴重的質量缺陷。在嚴重的情況下，不合格氣體的擴散會污染整個生產線，甚至使生產完全癱瘓。因此，電子氣體是電子制造過程中的關鍵基礎材料，它確實是電子行業的“血液”。

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電子氣的原料主要是石化和煤化工生產過程中產生的空分氣、低純度原料氣、廢氣等基礎化工原料。主要原材料來源廣泛，市場供應充足，更容易從相關原材料供應商處獲得。我國大型鋼鐵企業和化肥企業基本配備空分設備，空分氣供應量大，價格穩定。在石化和煤化工行業中，專用電子氣的原料氣消耗量占原料氣產量的一小部分。一個穩定的石化和基礎化工行業可以為特種電子氣體行業提供充足的原材料。“十三五”規劃明確了環境保護和工業廢氣排放的目標，對上游產業的供應將充足。由于氣體容器可以長期使用，它們在電子氣體成本中所占比例相對較小，價格波動對行業影響不大。

電子氣體的分類和應用

電子產品的制造過程中廣泛使用了多種類型的電子氣體。目前，電子氣體有60多種純氣體和80多種混合氣體。電子氣體可分為純氣體、高純度氣體和半導體特種材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜、蝕刻等工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。

電子氣體主要用于半導體、平板顯示器、太陽能電池等領域，國內市場需求80億元。據中國工業氣體工業協會統計，2019年國內電子專用氣體需求達到80億元，其中集成電路專用氣體需求35億元，飛機顯示器專用氣體需求22億元，太陽能電池需求8億元。