水分是六氟化硫設備產生有毒物質的條件。如果六氟化硫氣體的含水量超過規定的含水量，當其含水量發生變化時，它可以在固體絕緣表面上冷凝，使表面濕潤，然后設備的表面放電電壓將顯著下降。六氟化硫氣體在電弧和電暈作用下分解產生的低氟復合氣體不產生SO2、HF和其他有害物質，無需水分子的外部狀態，以避免其引起的設備腐蝕。因此，當向設備中注入六氟化硫氣體時，必須采取嚴格措施防止濕氣進入。

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（1） 開始工作前，首先測量周圍空氣的相對濕度≤80%（即在相同溫度下空氣中的水蒸汽密度與飽和水蒸汽密度之比的百分比），這是空氣中水分含量限制的具體指示。如果試驗不合格，應采取措施或重新選擇干燥晴朗的天氣進行填充。

（2） 為了及時排放和更換SF6泄漏氣體，必須在主尖端充滿時打開風扇，并且必須仔細遵守空氣中SF6含量不得超過1000ppm的規定。檢查應在工程開始后的一段時間內進行，橫向檢查應根據具體情況在路徑中間進行。如果SF6氣體含量增加或超過標準，應立即詳細檢查部件，以找出并消除原因。