無論是計量用的標準氣體還是電子混合氣體，準確性是第一要素。如何確保標準氣體準確性高、

更穩定，是我們迫切需要關注和解決的問題。

因為氣瓶廠只能依賴于標氣公司做配氣、分析等效果考察工作，或許Cl210x10-6-N2處理接果

不錯，而Cl25×106_N2就不滿意了，所以，此項工作類似于雜交水稻的培育，需要長期不間

斷的考察研究，最好是多部門的聯合攻關作戰。若沒有國家的資金支持，目前的背景下，完成

此項意義重大、經濟效益不突出的研究，真的有存在的可能性？可見氣瓶的穩定性問題將長

期困擾中國氣體的進步與發展。

對于盛裝電子混合氣體的氣瓶，內表面決不能采用高分子材料處理。根據研究驗證，無論何

種高分子材料，都有一定量的有機物釋放，這些碳氫化合是IC制造“有害”雜質尤其是在夏季，

釋放會加劇。目前國內許多事舊氣瓶，由于內表的處理沒有清晰的標識，若再使用充裝類似

N02等強氧化氣體，應引起注意，否則會出現嚴重的安全方面的事故。

此外，原料氣體的純度也是影響氣體準度的重要因素。目前市場競爭十分激烈，對于液化壓

縮氣體，由于存在氣液兩相，組分尤其是較輕的組分，會隨溫度的變化而變化，應經常測定

其濃度。必要時使用前多次置換吹掃系統，達到降低輕組分含量的目的，如高純、C02氣體

長期不用，若質量不好，氣相中CH4、N2、02、CO含量飆升，可以通過小流量的放空處理

解決，而對于較重的組分，建議留10%-20%的瓶底。