在電子器件生產工藝中．廣泛使用了各種高純氣體．按工藝中高純度氣體的不同用途，

可將其分為保護氣、反應氣和載氣.

用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣．在國內為獲取氫氣和氨氣，為獲得較

高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取．這種方法需用大量電能來電解水，

一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高.

為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應用各種混合氣．其中，以應用氮－氫混合

氣為最多．國外多采用液態氫和液態氮汽化法獲得氮氫混合氣， 也有采用液氮分解法

獲得氮氫混合氣的．

用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法，由于采用了液化后再汽化的工藝，故其

投資和成本均較高． 國外，由于生產的專業化程度高，使用單位多采用這種方法獲得

混合氣． 國內若從專業鋁合金門窗廠或大型聯合企業的副產物獲得液氫和液氮，其成

本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍．由液氨分解獲得的氮氧混合氣，

由于液氮來源不同，大多數質量較差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質．此外

，液氮多來源于化肥廠，目前，供應上較緊張，故成本也較高．

氮氫混合氣不僅可在生產電子器件時取代氧氣用作保護氣，還可廣泛用于冶金、化工、

機械等行業． 一旦廣泛推廣應用，必將產生可觀的經濟效益和社會效益．