半導體產業的綠色未來：氖氣回收技術嶄露頭角  

氖氣回收技術是一種在半導體制造過程中實現氖氣回收的技術。該技術對降低采購成本、供

應鏈風險和環境影響具有重要意義。韓國半導體企業三星電子和SK海力士在氖氣回收方面取

得了顯著進展。

SK海力士與特種氣體制造商TEMC合作開發的氖氣回收技術，可在光刻工藝完成后有效收集

環境中的氖氣回收技術，經專業凈化后重新供應給SK海力士。目前，該回收裝置的整體回收

率已達72.7%，并計劃進一步提高到77%。該技術預計每年為SK海力士節省約400億韓元的

采購成本，并減少約12000噸二氧化碳的當量碳排放。三星電子還計劃在2025年將氖氣回收

技術整合到其制造過程中，并在大規模芯片生產中成功采用了氖氣回收技術。該技術的應用

有望滿足三星光刻過程中約75%的氖氣需求，從而大大降低對進口氖氣的依賴性。氖氣回收

技術的發展不僅顯示了半導體企業在技術創新和資源回收方面的領先地位，也為整個電子產

業的可持續發展樹立了積極的榜樣。隨著該技術的進一步推廣和應用，預計將有更多的企業

加入資源回收的行列，共同促進全球經濟的可持續發展。

氖氣回收技術對半導體產業的可持續性有何貢獻？
氖氣回收技術對半導體產業可持續性的貢獻主要體現在以下幾個方面:
減少資源消耗和環境影響：通過回收技術，企業可以從生產過程中的廢氣中收集氖氣，不僅

減少了對新氖氣資源的需求，而且有助于減少工業生產對環境的影響。
降低生產成本：氖氣是半導體制造的關鍵原材料，特別是在光刻過程中。氖氣價格的波動可

能會對半導體制造商的成本產生重大影響。回收技術可以穩定氖氣的供應，降低對外部市場

價格波動的敏感性，從而降低生產成本。
提高供應鏈的韌性：氖氣的供應在很大程度上取決于少數供應商，這使得半導體行業面臨供

應中斷的風險。通過回收技術，企業可以減少對外部氖氣供應的依賴，提高供應鏈的穩定性

和韌性。
促進技術創新和產業可持續發展：氖氣回收技術的應用顯示了半導體產業在資源回收和環境

保護方面的努力，有助于促進整個產業向更可持續的生產模式轉型。
綜上所述，三星電子和sk海力士開發的氖氣回收技術不僅對公司自身的成本控制和供應鏈管

理具有重要意義，而且對整個半導體行業的可持續發展也具有積極的貢獻。