六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能，SF6氣體已成為繼氣體和油之后新一代的絕緣性耐超高壓媒質。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料，也可應用于粒子加速器及避雷器中。研究六氟化硫分子的結構以及六氟化硫氣體分子的電子激發，我們能夠清楚的了解六氟化硫氣體的絕緣性。

  學者們研究了在動能為70、170和182電子伏特的電子照射下，從六氟化硫分子固體表面脫附的正離子電子激發釋氣。在動能為70電子伏特的電子照射下，我們觀測到價層電子激發釋氣的正離子產物為氟、硫與SFn(n為一到五)的單價離子。在動能為170或182電子伏特的電子照射下，S2p核層電子激發釋氣的正離子產物為氟、硫、SFn(n為一到五)的單價離及硫的二價離子。價層電子激發釋氣主要是由70電子伏特的電子將六氟化硫分子的價電子激發至未被佔據的軌道。經由MGR的脫附機制或KF模型之歐杰衰減過程產生正離子脫附。核層電子激發釋氣主要是由170或182電子伏特的電子將S(2P)能階的電子激發至6a1g或2t2g分子軌道，經由歐杰衰減過程，形成多孔洞激發態而導致脫附。比較入射電子動能為70電子伏特之六氟化硫氣體分子的電子激發解離性游離實驗，與六氟化硫分子固體之電子激發釋氣實驗結果，我們認為分子固體表面的電子對于未解離前的激態分子之遮蔽效應及對解離后產生的正離子之再中性化是導致兩個實驗差異的主要因素。

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