六氟化硫氣體是一種無色、無臭、無毒、不燃、無腐蝕的惰性氣態物質，廣泛應用于電導設備系列，如電源開關、封閉式電容器組、變壓器、高功率電纜、互導傳感器、避雷針等等。并且，六氟化硫氣體的功效還活躍于粒子加速器、X射線、示蹤分析和非金屬助熔等領域。在人類生產生活的過程中，產生了大量的SF6氣體。然而六氟化硫氣體是一種溫室氣體，大量排放該氣體勢必導致環境變暖。那么減少六氟化硫排放，將含有六氟化硫的尾氣轉化也就是成為課題。今天紐瑞德特氣小編月月為大家解說微波電漿結合吸收劑轉化六氟化硫。

  結合微波電漿火炬-添加劑-吸收劑系統，處理大流量及高濃度之溫室效應氣體六氟化硫(SF6)，探討添加劑種類和進流濃度、輸入功率、操作壓力、 SF6進流濃度及總進流流量對SF6轉化率及產物分佈之影響；并且以不同吸收劑探討對毒性副產物之去除效果。最后經由光學發射光譜的量測，協助鑑定電漿中 主要活性物種之濃度變化，推論與轉化SF6之關系。

  結果顯示，添加劑及提高輸入功率均可提升SF6轉化率。對SF6(0.2%)/N2在接近常壓，1.6kW下，于H2/O2/SF6,H2O(g)/SF6,H2/SF6以及O2/SF6之進流濃度比例分別為5/5/1,5/1, 5/1及5/1時，可達較佳之SF6轉化率，為51.0%,49.2%,48.9%及36.0%。除此之外，降低壓力、總進流流量或SF6進流濃度可明顯地提高SF6轉化率。但仍以處理較高壓力、流量及SF6進流濃度之能量利用效率較佳。在產物方面，加入各種添加劑，其主要產物均為F2，以及少量的SiF4。添加H2會生成毒性的HF與硫沉積。添加O2產生SO2F2,SOF2,SOF4，以及微量的SO2及NOx。至于同時添加H2及O2，可抑制SO2F2, SOF2及SOF4之生成，以產出SO2為主，可達較高轉化率及較低毒性物質生成之優點。

  在700torr下，各種吸收劑對HF略有吸收效果，此外，降低壓力或SF6進流濃度，各種吸收劑均可將HF降低至偵測極限以下，Ca(OH)2吸收劑對 SO2F2及SOF2有較佳之吸收效果。光學發射光譜顯示，活性物種N2于電漿反應中扮演重要角色，且活性物種H,N2及SF2之光強度與SF6氣體轉化率有明顯關連，可解釋H2/SF6進流比例、功率和添加劑種類之影響。