中文名稱：四氟化硅

包裝規格：10L、47L

英文名稱：Silicon Tetrafluoride

分子式：F4Si

CAS：7783-61-1

電子級四氟化硅

高純電子級四氟化硅（SiF4）作為電子工業重要原料之一，具有較高的氟硅比，被廣泛應用于光纖、半導體或太陽能電池的生產，是電子產業核心制造業的基礎。它可以高效刻蝕氮化硅、硅化鉭等芯片材料，作為P型摻雜劑及外延沉積擴散硅源。Chemicalbook特別在新一代芯片制程的高深寬比、大容量金屬層間絕緣介質加工工藝中，四氟化硅作為硅源可以達到較高的化學沉積速率，制成更優越的低介電常數SiO2薄膜。另外，四氟化硅也是光導纖維制造工藝的主要原料和光纖行業中硅基半導體離子注入制程的關鍵成分。

用途 

用于氟硅酸及氟化鉛的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化劑，制造純硅的中間體。

危險特性

不易燃。易水解成氟硅酸，在潮濕空氣中形成氟化氫。具窒息性、刺激性和腐蝕性。對眼睛、皮膚、粘膜和呼吸系統有嚴重損害。局部腐蝕作用強，能引起脫鈣中毒，經過長期的痛苦而致Chemicalbook殘廢。吸入氣體會造成呼吸困難，出現肺水腫及化學性肺炎。同時可見牙齒酸蝕癥所致的脫鈣，因氟慢性中毒導致骨硬化癥。大鼠吸入LC50300ppm。受熱后瓶內壓力增大，有爆炸危險。

貯運須知

裝于特殊鋼瓶內，貯于陰涼、通風的倉庫內。遠離熱源和火源。防止受潮和雨淋。須貼“毒氣、腐蝕品”標Chemicalbook志。航空、鐵路嚴禁運輸。火災時可用水冷卻容器，關閉閥門，切斷火源。用二氧化碳、干粉、干砂滅火。禁止用水。

急救措施

眼睛接觸時，用大量水沖洗，并就醫診治。皮膚接觸時 先用水沖洗，再涂敷氧化鎂甘油軟膏，如已灼傷應立即就醫。吸入氣體時，立即將患者移至新鮮空氣處，安置休息并保暖。迅速送醫院救治。

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