六氟化硫（SF6）是一種無色、無味、無毒的氣體，不可燃，微溶于水。六氟化硫是個極為惰性的氣體，不與水、鹽酸、氫氧化鈉和熔融的鈉作用，但會與金屬鋰反應并放熱。六氟化硫的一氯代物（SF5Cl）可以用四氟化硫為原料制備，結構與六氟化硫類似，但具強氧化性，很快水解生成硫酸鹽。

從有關部門的試驗及研究結果可知，六氟化硫氣體的毒性主要來自5個方面。

1、電器設備內的六氟化硫氣體在高溫電弧發生作用時而產生的某些有毒產物。

2、六氟化硫產品不純，出廠時含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。

3、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL、Cu）反應而生成某些有毒產物。

4、電器設備內的六氟化硫氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物。

5、電器設備內的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產物。

SF6氣體的毒性主要來源于以下氣體：

1、氟化亞硫酰（ SOF2 ）

無色劇毒氣體，能侵襲肺部，引起肺組織急性水腫，影響氣體交換，使肺部缺氧充血而導致窒息性死亡，它有強烈的惡心臭味，可作為警告信號之用。白鼠和兔子的致死濃度為 10 × 10 -6 和 50 × 10 -6 （ V/V ）。

2、氟化硫酰（ SO2F2 ）

攣性化合物，無色無臭，在較高濃度下對肺組織有刺激作用，引起肺泡出血。白鼠和兔子的致死濃度為 200 × 10 -6 和 400 × 10 -6（ V/V ）。

3、四氟化硫（ SF4 ）

無色氣體，有類似 SO2的刺激性臭味，毒性與光氣相當，對肺有侵害作用。

4、二氟化硫（ SF2 ）

沸點 35 ℃，極不穩定，受熱后更加活潑，易水解生成 S 、 O2 、 HF 等，其毒性于 HF 相當

5、氟化硫（ S2F2 ）

常溫下為無色氣體，具有很強的毒性，遇水后生成 HF ，對呼吸系統有類似光氣的破壞性作用。

6、氟化氫（ HF ）

無色氣體或液體，具有強烈的刺激性臭味，極易溶解于水，形成氫氟酸，對一般材料具有較強的腐蝕性。 HF 對皮膚、粘膜有強烈的刺激作用，并能引起肺水腫、肺炎等。

7、十氟化二硫（ S2F10 ）

常溫常壓下為無色易揮發液體，系劇毒物質，毒性約為 SOF2 的 300 倍。S2F10主要侵襲肺住址，引起肺出血和肺水腫。白鼠的致死濃度為 1 × 10-6 （ V/V ）。

8、三氟化鋁（ AIF3 ）

白色粉末狀，通常吸附了大量的有毒氣態分解產物，故應被視為具有強烈腐蝕性和毒性的物質。 ALF3 粉塵可刺激皮膚引起皮疹，對呼吸系統及肺部均有侵襲作用。

9、十氟化二硫一氧（ S2F10O ）

劇毒物質，對肺組織強烈侵襲作用。白鼠的致死濃度為 20 × 10-6 （ V/V ）。

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