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氙在電子芯片制造業中的最新應用

文章出處：責任編輯：人氣：-發表時間：2023-07-20 09:23:40【大 中 小】

氙在電子芯片制造業中的最新應用


高純氙氣

氙氣的最新使用發生在電子芯片制造業，這也是氙需求增長的主要原因。幾家大型芯片制造商使用氙等離子體蝕刻，主要用于制造微機電系統（MEMS）。MEMS器件可以將微電子和微機械集成為一個整體，從而能夠在單個芯片上生產更復雜、更高效的電路。這項技術將基本的計算機芯片（數據處理）和傳感器（數據收集）結合為一個組件，可以大規模生產。這類芯片的潛在用途是無限的，一些半導體制造商使用氙蝕刻工藝生產這種超級芯片。