六氟化硫氣體具有較高的電氣強度和良好的熱穩定性，廣泛應用于高壓電氣設備中。六氟化硫氣體的化學性質極為穩定。純六氟化硫氣體無毒，但當切斷大電流時，由于強電弧放電，會產生一些含硫低氟化物。這些物質具有很強的反應性。當水和氧氣存在時，它們繼續與電極材料和水反應，分解并產生有毒或劇毒氣體。這些有毒氣體主要損害人體的呼吸道。中毒后有副作用，如感冒、皮膚過敏、惡心、嘔吐、疲勞等。如果吸入劑量較大，將產生更嚴重的后果。因此，在維護和測試六氟化硫設備期間，應采取以下保護措施：

（1） 施工現場應通風良好，維修人員應處于上風位置；

（2） 佩戴防毒面具和防護手套；

（3） 回收排放的氣體或使用不適合直接排放到大氣中的管道將氣體排放到下水道系統中；

（4） 休息前或下班后，用肥皂和大量水徹底清洗面部、頸部、手臂和手；

（5） 如果意外接觸大量氣體，應立即清洗、更換衣服并及時到醫院進行觀察和治療。

六氟化硫氣體用于絕緣和/或滅弧4型電氣設備；SF6斷路器和氣體絕緣開關設備（此處指六氟化硫封閉開關設備，國際上稱為“氣體絕緣開關設備”）、SF6電力開關設備、六氟化硫絕緣輸電線路、六氟化硫變壓器和SF6絕緣變電站。80%用于高壓和中壓電源。