-
混合氣體和標準氣體的不同
電子混合氣體和計量學上的標準氣體有許多相似的特點，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要氣體具有優良的品質，換言之，電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質不能高于某值。在8in以上的IC生產線，也應對混合氣體中含有的顆粒物進行控制和定值。 1、電子混合氣體的氣瓶處理 同其他氣體不同，對盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴格，否則，即便是混合氣體配制的準確度再高，穩定性再好也無更多 +
-
半導體產業鏈之電子特種氣體行業深度研究：四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。由于它的化學穩定性極 強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業等。當今超大規模集成電路所用電子氣體的特點和發展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規模，各國為推動本國微電子工業的發展，越來越重視發展特種電子氣體的生產技術。就目前 而言，CF4更多 +
-
標準氣體及高純氣體檢測如何避免采樣時產生的誤差？
武漢紐瑞德特種氣體有限公司最近改進了生產工藝，想要對自家生產的氟化氫、氮氣、氧氣等產品進行檢測。由于氣體產品檢測主要是測定氣體的組成、雜質含量以及物理特性等，所以采樣時的氣體質量是否具有代表性就非常重要。采樣作為氣體分析的第一步，也是最關鍵的一步，對于整個檢測結果起著決定性的影響。為了避免由于采樣而產生的誤差， 一、氣體采樣方法 氣體采樣方法主要分為直接采樣和間接采樣兩種方式，這兩種采樣方式一般都可以用容器裝氣體采樣或管道氣體采樣。只不過采用管道氣體采樣方法的話，直接更多 +
-
工業氣體的分類與應用
1．工業氣體定義： 在我國的工業生產上，把常溫、常壓下呈氣態的產品統稱為工業氣體產品。一種瓶裝壓縮液態氣體，在常溫常壓下呈氣態，氣體種類有繁多，主要用于各種工業制造方面。 2．工業氣體應用： 工業氣體產品已是現代工業的重要基礎原料。工業氣體被喻為工業的“血液”。隨著中國經濟的快速發展，工業氣體作為國民經濟基礎工業要素之一，在國民經濟中的重要地位和作用日益凸顯。其應用范圍廣泛分布在：石油、化工、冶金、鋼鐵、機械、電子、電力、玻璃更多 +
-
環境監測中標準氣體使用問題的探討
本文就日常使用標準氣體校準儀器設備過程中總結出一些注意要點，以供同行參考。 引言： 隨著國家經濟和科技的不斷發展，氣體被廣泛應用于化工、冶金、航空航天和環保等各個領域。作為氣體行業的一個重要分支，對于工業生產起到規范和發揮著質量保證的作用。標準氣體（又叫校正氣體）屬于氣態的標準物質，是高度均勻的，良好穩定和量值準確的測定標準。在環境監測過程中，標準氣體可以用于校準測試儀器和質量控制計劃中的期間核查，正確的使用標準氣體對測試結果的準確性和可靠性提供了關鍵的技術保證。更多 +
-
韓國稀有氣體“氖”成功實現國產化！
隨著近年來半導體市場的高速增長，半導體工藝中使用的氖 (Ne)、氙 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國稀有氣體市場預計將從2020年約1600億韓元增長到2023年約2800億韓元，年均增長20%。然而，韓國目前100%進口稀有氣體。 氖氣是空氣中含量僅有0.00182%的一種稀有氣體，是半導體曝光工藝中使用的準分子激光氣體的原料之一。過去，全部進口并依賴外國技術，由于貿易爭端導致價格飆升和供應短缺，韓國曾試圖將產品本地化。此次建成的裝置每年可生產約22000更多 +
-
科技創新助力電子氣體產業發展
近年來，5G，人工智能（AI）和物聯網等技術帶動了泛半導體的高速發展。電子材料是半導體的支撐產業，電子氣體是半導體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達百余種。日前，2021中國先進電子材料產業發展大會上發表了《科技創新助力電子氣體產業發展》通過對國內電子氣體材料“卡脖子”現狀深入分析，指明了電子氣體技術的未來發展趨勢。 電子氣體核心技術通常有四個大類，即合成技術、純化技術、潔凈灌裝技術和檢測技術。計總通過科利德公司電子級一氧化氮（NO）的生產案例向大家介紹了合成更多 +
