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高純氮?dú)獾南缿?yīng)急措施
量隔離泄漏源。避免在與火 源碰撞時,在淺層區(qū)域沉積可能導(dǎo)致爆炸的氣體。用排煙風(fēng)機(jī)將泄漏的廢氣送入開放空間。更多 +
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充SF6氣體時應(yīng)注意的事項
充SF6氣體時應(yīng)注意的事項 SF6有必要的設(shè)備來生產(chǎn)有毒物質(zhì)。如果SF6氣體含有超過特定量的水分,當(dāng)濕度變化時,它可以集中在固體絕緣表面,并將表面水分轉(zhuǎn)化為表面。SF6。在電弧和電暈活動過程中,氣體沉積產(chǎn)生的低氟結(jié)合氣體在沒有水分子的外部條件下不會產(chǎn)生SO2、HF和其他有害物質(zhì),從而避免它們引起的設(shè)備腐蝕。因此,當(dāng)SF6供應(yīng)充滿汽油時,應(yīng)采取嚴(yán)格措施防止水進(jìn)入。 (1) 工作開始前,應(yīng)測量該區(qū)域周圍空氣的相對濕度80%(即在相同溫度下,空氣中的水入口與測 量的水入口的百分比更多 +
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氦質(zhì)譜檢漏儀半導(dǎo)體設(shè)備及材料檢漏應(yīng)用
真空設(shè)備越來越多地應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),如真空分離器(蒸發(fā)、濺射)、干式噴砂設(shè)備、熱處理設(shè)備(合金爐、退火爐)、摻雜設(shè)備(離子注入機(jī)等),這些設(shè)備將作為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展不可或缺的條件發(fā)揮越來越重要的作用。 真空設(shè)備越來越多地用于半導(dǎo)體行業(yè),如真空沉積設(shè)備(蒸發(fā)、濺射)、干式噴砂設(shè)備(ICP、RIE、PECVD)、熱處理設(shè)備(合金爐、退火爐)、摻雜設(shè)備(離子注入機(jī)等),這將作為半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展的先決條件發(fā)揮越來越重要的作用。氦質(zhì)譜泄漏檢測器今天被廣泛用于半導(dǎo)體系統(tǒng)中的泄漏檢測。 半導(dǎo)體器件和材料泄漏檢測的原因:更多 +
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含氟蝕刻氣體的種類和介紹
目前,氟化蝕刻氣體是一種隱形的“刀具”,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD前端工藝,甚至可以在微米厚的薄層上切割納米級凹槽。你能仔細(xì)想想這幅畫嗎? 那么,氟化蝕刻氣體是什么呢?它們是如何工作的? 用于蝕刻的氣體稱為蝕刻氣體,通常是氟化物氣體,如四氟、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 含氟蝕刻氣體是電子氣體的一個重要分支,是制造超大集成電路、平面顯示器、太陽能電池和玻璃纖維等電子工業(yè)不可或缺的原材料。它們被廣泛用于半導(dǎo)體工藝,如薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積和擴(kuò)散。國家發(fā)展改革委《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)更多 +
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電子特種氣體是特種氣體的一個重要分支
特種電子氣體(以下簡稱特種電子氣體)是特種氣體的一個重要分支,是集成電路(IC)、平面顯示設(shè)備(LCD、LED、OLED)、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。 電子氣體廣泛應(yīng)用于電子產(chǎn)品的工藝,如離子注入、蝕刻、氣相沉積、摻雜等。電子半導(dǎo)體器件的性能與電子氣體的質(zhì)量密切相關(guān)。 產(chǎn)業(yè)鏈上下游 工業(yè)氣體工業(yè)的原料是空氣、工業(yè)廢氣、基礎(chǔ)化學(xué)原料等。其上游產(chǎn)業(yè)為氣體分離和清潔設(shè)備、基礎(chǔ)化學(xué)原料工業(yè)、壓力容器設(shè)備等。下游領(lǐng)域包括集成電路、液晶面板、LED、光纖通信、光伏、醫(yī)療健康、節(jié)能環(huán)保、新材料、更多 +
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高純氨氣制取的四項關(guān)鍵技術(shù)
高純度氨產(chǎn)品是光電子和微電子技術(shù)不可或缺的支撐材料。它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體照明、平板顯示器、太陽能電池和大型集成電路的制造。高純度氨的質(zhì)量直接影響材料的光學(xué)和電學(xué)性能,甚至影響設(shè)備的使用壽命。國內(nèi)外都有巨大的潛在市場。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,對高純度氨的需求快速增長,高純度電子氣體的國產(chǎn)化是必然的發(fā)展趨勢。 高純度氨也是通過有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積(MOCVD)技術(shù)生產(chǎn)第三代復(fù)合半導(dǎo)體材料氮化鎵(GaN)的重要支撐材料。MOCVD生產(chǎn)氮化鎵(GaN)要求所用的氨必須是高純度和超清潔的,純度為7N(99.99更多 +
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高純氮?dú)獾南缿?yīng)急措施
氮?dú)鈨艋椒ㄖ饕形?、變壓吸附、膜分離等。在生產(chǎn)中,黑色鋼瓶通常用于盛裝氮?dú)狻? 意圖 它被用作集成電路、半導(dǎo)體和電真空設(shè)備制造中的保護(hù)氣體和載氣,用于化學(xué)氣相沉積的載氣,液體擴(kuò)散源的載氣以及高溫擴(kuò)散爐中設(shè)備的保護(hù)氣體。在外延、光刻、純化和蒸發(fā)過程中,高純度氮?dú)庥米髦脫Q、干燥、儲存和運(yùn)輸?shù)臍怏w。在生產(chǎn)電影鏡頭時,氮的純度必須高于99.99%。在航空航天技術(shù)中,液態(tài)氫填充系統(tǒng)必須首先由高純度氮?dú)獯妫缓笥筛呒兌群獯妗? 防火措施 迅速將受污染區(qū)域內(nèi)的人員疏散到迎風(fēng)的現(xiàn)場,將其隔離并嚴(yán)格限制更多 +
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奇怪的同位素:科學(xué)家解釋了海底甲烷的同位素悖論
甲烷是一種分子式為CH4的化合物,不僅是一種強(qiáng)烈的溫室氣體,也是一種重要的能源。它為我們的家供暖,甚至海底的微生物也生活在上面。微生物使用一種叫做甲烷厭氧氧化(AOM)的過程,這種過程通常發(fā)生在海底的所謂硫酸鹽-甲烷過渡區(qū),從海底層開始,海水中的硫酸鹽與更深的沉積物中的甲烷相遇。在這里,一種特殊的微生物,厭氧甲烷氧化(ANME)古菌,消耗甲烷。它們與利用甲烷氧化過程中釋放的電子來還原硫酸鹽的細(xì)菌生活在一起。為此,這些生物形成了特征性的聯(lián)系。 這一過程發(fā)生在世界各地的海底,因此是碳循環(huán)的重要組成部分。然更多 +
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乙烯、乙炔和丙烯的熱解炭的沉積速率
當(dāng)乙烯、乙炔和丙烯在950°下熱解時,熱解碳的化學(xué)氣相沉積速率隨氣體濃度而變化。如果氣體濃度較小,熱解碳的沉積速率與乙炔和丙烯的濃度呈平方關(guān)系,與乙烯的濃度呈立方關(guān)系。隨著濃度的增加,熱解碳的沉積速率遵循飽和吸附的生長模式。因此,在低濃度條件下,CVD實(shí)際上是一個活性位點(diǎn)吸附的飽和吸附生長過程。 隨著乙烯和其他氣體濃度的不斷增加,熱解碳的沉積速率線性增加,這是多環(huán)芳烴的縮合成核增長。在900°C和1s的氣體停留時間下,每個組分中碳元素的分布如圖9所示。除未分解的原料氣外,大多數(shù)碳元素在更多 +
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